ASML Holding cho biết đã nâng công suất nguồn sáng trong máy quang khắc EUV lên 1.000 watt, từ mức 600 watt hiện nay, mở ra khả năng tăng tới 50% sản lượng chip vào cuối thập kỷ này và củng cố lợi thế trước các đối thủ Mỹ và Trung Quốc.
ASML hiện là công ty duy nhất trên thế giới sản xuất thương mại máy quang khắc cực tím bước sóng cực ngắn (EUV) – thiết bị then chốt để các hãng như TSMC, Intel và nhiều nhà sản xuất khác chế tạo chip tiên tiến.
Theo Michael Purvis, trưởng bộ phận công nghệ nguồn sáng EUV của ASML, hệ thống mới có thể vận hành ổn định ở mức 1.000 watt trong điều kiện tương đương môi trường sản xuất thực tế tại nhà máy khách hàng. Ông nhấn mạnh đây không phải thử nghiệm ngắn hạn mà là bước tiến sẵn sàng cho triển khai công nghiệp.
Nguồn sáng mạnh hơn cho phép tăng số lượng chip sản xuất mỗi giờ, qua đó giảm chi phí trên mỗi sản phẩm. Trong quy trình quang khắc, ánh sáng EUV được chiếu lên tấm nền silicon phủ chất cản quang (photoresist) để in các mạch siêu nhỏ. Công suất cao giúp rút ngắn thời gian phơi sáng cho mỗi tấm nền.
Teun van Gogh, Phó Chủ tịch điều hành phụ trách dòng máy EUV NXE, cho biết đến năm 2030, mỗi máy có thể xử lý khoảng 330 tấm nền silicon mỗi giờ, tăng so với mức 220 hiện nay. Tùy kích thước, mỗi tấm nền có thể chứa từ vài chục đến hàng nghìn chip.
Máy EUV được xem là công nghệ sống còn trong ngành bán dẫn toàn cầu. Mỹ và Hà Lan đã phối hợp hạn chế xuất khẩu thiết bị này sang Trung Quốc, thúc đẩy Bắc Kinh đầu tư phát triển công nghệ thay thế. Tại Mỹ, một số startup như Substrate và xLight đã huy động hàng trăm triệu USD để phát triển công nghệ cạnh tranh.
Để tạo ra ánh sáng EUV có bước sóng 13,5 nanomet, máy của ASML bắn các giọt thiếc nóng chảy vào buồng kín và dùng laser carbon dioxide công suất lớn để biến chúng thành plasma – một trong những quy trình kỹ thuật phức tạp nhất trong sản xuất chip hiện đại.
Với bước nâng công suất mới, ASML kỳ vọng tiếp tục duy trì vị thế dẫn đầu trong cuộc đua công nghệ bán dẫn toàn cầu.
Học viên tìm hiểu cách lắp ráp và vận hành máy EUV tại trung tâm đào tạo của ASML Holding ở Đài Nam, Đài Loan. Ảnh: Reuters
